高熱伝導(dǎo)性、高信頼性の窒化アルミをプレート板に採用しています。
溫度センサーをヒーター內(nèi)部に組み込んでいるので的確な溫度制御が可能です。

低溫から高溫、大気及び真空での使用に対応したヒーターです。
均熱溫度分布を重點に製作しています。